PWB-820222-2 Bảng I/O tương tự PCB ASML

Sự miêu tả

ASML PWB-820222-2 được xác định làBo mạch đầu vào/đầu ra tương tự (I/O)được thiết kế đặc biệt để sử dụng trong ASMLHệ thống đường ray in thạch bản SVG 90S. Các hệ thống này đóng vai trò quan trọng trong quá trình sản xuất chất bán dẫn để chuẩn bị các tấm silicon để phơi sáng bằng cách áp dụng và xử lý chất cản quang.Thu thập dữ liệu tương tự:Nhận tín hiệu từ các cảm biến theo dõi các thông số như nhiệt độ của tấm gia nhiệt, áp suất trong buồng tráng phủ và buồng tráng phủ, lưu lượng hóa chất và vị trí của các thành phần cơ học. Sau đó, bo mạch sẽ chuyển đổi các tín hiệu tương tự này thành dữ liệu số để bộ xử lý trung tâm của hệ thống diễn giải và phản ứng.

TÍNH NĂNG

Nhiều kênh đầu vào tương tự:Được thiết kế để nhận tín hiệu từ nhiều cảm biến tương tự theo dõi nhiều thông số quy trình khác nhau.

Nhiều kênh đầu ra tương tự:Có khả năng tạo ra tín hiệu điều khiển tương tự để điều khiển bộ truyền động và thiết bị điều khiển trong hệ thống.

Chuyển đổi Analog sang Digital (ADC):Mạch tích hợp để chuyển đổi tín hiệu tương tự đầu vào thành dữ liệu số để bộ phận điều khiển của hệ thống xử lý.

Chuyển đổi số sang tương tự (DAC):Chức năng chuyển đổi lệnh điều khiển kỹ thuật số thành tín hiệu tương tự để xuất ra các thiết bị bên ngoài.

Ứng dụng

Kiểm soát nhiệt độ:Nhận tín hiệu từ cảm biến nhiệt độ trên tấm gia nhiệt và gửi tín hiệu điều khiển đến các bộ phận gia nhiệt để duy trì nhiệt độ chính xác cần thiết để nung chất cản quang.

Điều chỉnh áp suất:Theo dõi mức áp suất trong buồng tráng phủ và buồng phát triển bằng cách sử dụng bộ chuyển đổi áp suất và điều khiển van hoặc bơm để duy trì áp suất tối ưu cho các quy trình này.

Kiểm soát dòng chảy chất lỏng:Giao tiếp với các cảm biến lưu lượng để theo dõi việc phân phối dung dịch chất cản quang và dung dịch hiện hình và điều khiển máy bơm hoặc van để điều chỉnh lưu lượng chính xác.